SUSS erweitert Fotomasken-Portfolio mit dem neuen Mid-End Cleaner ASC9500

^
EQS-News: SUSS MicroTec SE / Schlagwort(e):
Produkteinführung/Markteinführung
SUSS erweitert Fotomasken-Portfolio mit dem neuen Mid-End Cleaner ASC9500

09.11.2026 / 07:30 CET/CEST
Für den Inhalt der Mitteilung ist der Emittent / Herausgeber verantwortlich.

---------------------------------------------------------------------------

SUSS erweitert Fotomasken-Portfolio mit dem neuen Mid-End Cleaner ASC9500

* Strategischer Ausbau des Photomask-Solutions-Portfolios für die
Anforderungen der Halbleiterfertigung auf etablierten Technologieknoten

* Neue, erweiterbare Cleaner-Generation auf Basis einer grundlegend
erneuerten Plattformarchitektur

* Je nach Konfiguration unterstützt der ASC9500 Technologieknoten zwischen
38 und 90 Nanometern

* Säurefreie In-situ-UV-Reinigung reduziert Chemikalienverbrauch und
Betriebskosten

* Für den ASC9500 liegen bereits konkrete Kundenanfragen vor; die
Fertigung des Systems hat begonnen

Garching, 9. November 2026 - Die SUSS MicroTec SE (MDAX/TecDAX: SMHN), ein
führender Anbieter von Anlagen und Prozesslösungen für die
Halbleiterindustrie, stellt heute das Fotomasken-Reinigungssystem ASC9500
vor. Mit dem neuen System macht SUSS bewährte Reinigungstechnologien der
Fotomaskenfertigung für etablierte Technologieknoten verfügbar. Der ASC9500
verbindet eine hohe Produktionsleistung mit der Flexibilität, vielfältige
und sich wandelnde Prozessanforderungen zu erfüllen. Die bedarfsgerecht
erweiterbare ASC9500-Plattform stärkt das Portfolio von SUSS für die
Fotomaskenreinigung und erweitert den adressierbaren Markt.

Wachsende Nachfrage nach leistungsstarken Fotomaskenlösungen für etablierte
Technologieknoten

Die Nachfrage nach Halbleitern auf Basis etablierter Technologieknoten
bleibt hoch. Diese bewährten Fertigungsprozesse sind zuverlässig, breit
verfügbar und wirtschaftlich attraktiv. Sie bleiben ein wesentlicher
Bestandteil zahlreicher Anwendungen, beispielsweise im Automobilbereich, in
der Industrieelektronik, bei Leistungshalbleitern und im Advanced Packaging.
Angetrieben von KI, zunehmend komplexeren Halbleiterbauelementen und
heterogener Integration, wird die Halbleiterfertigung vielfältiger. Diese
Entwicklung schafft Bedarf nicht nur an Spitzentechnologien, sondern auch an
mehr Fertigungskapazität und größerer Prozessflexibilität bei etablierten
Technologieknoten. Mit steigenden Produktionsmengen wächst auch die
Nachfrage nach Fotomasken sowie den dafür erforderlichen Prozesslösungen. Da
Fotomasken im Fertigungsprozess wiederholt eingesetzt werden, spielt ihre
Reinigung eine entscheidende Rolle für Ausbeute, Prozessstabilität und
Produktionseffizienz. Dabei steigen die Anforderungen an Reinigungsleistung,
Wirtschaftlichkeit und Kosteneffizienz kontinuierlich.

Neue, erweiterbare Plattformgeneration für wachsende Kundenanforderungen

Aufbauend auf dem bewährten Reinigungssystem ASC5500, hebt der ASC9500 die
Fotomaskenreinigung von SUSS auf ein neues Level. Die Plattform wurde
grundlegend überarbeitet und bietet eine erweiterbare Architektur, die
darauf ausgelegt ist, künftige Kundenanforderungen zu unterstützen. Sie
integriert fortschrittliche Funktionen, die bislang ausschließlich in den
High-End-Reinigungssystemen des Unternehmens verfügbar waren. Gleichzeitig
bietet der ASC9500 Anwendern der manuellen HMx-Reinigungssysteme von SUSS
eine technologisch weiterentwickelte Alternative. Je nach Konfiguration
deckt der ASC9500 Technologieknoten zwischen 38 und 90 Nanometern ab. Sein
erweiterbares Design ermöglicht es Kunden, das System an veränderte
Prozessanforderungen anzupassen und dabei kosteneffizient zu arbeiten.

Nachhaltiger und kosteneffizienter Betrieb

Ein wesentliches Differenzierungsmerkmal des ASC9500 ist die integrierte
säurefreie In-situ-UV-Reinigungstechnologie. Sie reduziert den Verbrauch von
Prozesschemikalien deutlich und senkt damit die Betriebskosten. Gleichzeitig
unterstützt sie die Nachhaltigkeitsziele der Kunden. Das Ergebnis ist eine
hocheffiziente Reinigungslösung, die hohe Prozessperformance mit einem
geringeren ökologischen Fußabdruck verbindet.

Kundeninteresse und Marktpotenzial bereits bestätigt

SUSS verzeichnet bereits konkrete Anfragen mehrerer Kunden und hat mit der
Fertigung des ASC9500 begonnen. Mit der Einführung des ASC9500 erschließt
SUSS zusätzliche Anwendungsbereiche in der Halbleiterfertigung und baut
dabei auf die technologische Expertise, die das Unternehmen als Marktführer
bei Reinigungslösungen für anspruchsvollste Fotomaskenanwendungen aufgebaut
hat. Durch die Übertragung bewährter High-End-Technologien auf ein breiteres
Kundensegment adressiert SUSS ein attraktives Marktpotenzial und ermöglicht
hohe Reinigungsleistung bei wettbewerbsfähigen Betriebskosten.

"Der Halbleitermarkt wird immer vielfältiger, und die Fertigung bei
etablierten Technologieknoten erfordert sowohl größere Produktionskapazität
als auch mehr Prozessflexibilität. Mit dem ASC9500 erneuern wir eine
bewährte Reinigungsplattform und führen eine erweiterbare Lösung ein, die
unsere Kunden auch dann noch einsetzen können, wenn sich ihre Anforderungen
ändern oder weiterentwickeln. Das neue System wurde bereits von mehreren
Kunden nachgefragt, sodass wir mit der Fertigung begonnen haben. Der ASC9500
untermauert unseren Anspruch, ein breites Spektrum an Fotomasken-Anwendungen
zu unterstützen, und stärkt unsere Position im Markt für
Fotomaskenreinigung", sagt Yuta Nagai, Senior Vice President Photomask
Solutions bei SUSS.

ASx9500-Plattform für die ganzheitliche Fotomaskenbearbeitung

Gemeinsam mit dem Post-Exposure-Bake-System APB9500, das bereits weltweit in
der Herstellung fotolithografischer Masken eingesetzt wird, erweitert der
ASC9500 die ASx9500-Plattform zu einem umfassenden Lösungsangebot für die
Fotomaskenbearbeitung. Als weltweiter Marktführer bei Reinigungslösungen für
die fortschrittlichsten Technologieknoten der Halbleiterindustrie überträgt
SUSS seine Expertise nun mit einer passgenauen Lösung auf zusätzliche
Anwendungsbereiche in der Halbleiterfertigung.

Weitere Informationen zum ASC9500, der ab sofort erhältlich ist, finden Sie
unter:

https://www.suss.com/de/produkte-loesungen/fotomaskenloesungen/fotomaskenreinigung/asc9500

Treffen Sie SUSS auf der SEMICON Europa

Buchen Sie einen Termin mit unseren Experten auf der SEMICON Europa, wenn
Sie mehr über den neuen ASC9500 erfahren möchten:

suss.com/de/veranstaltungen/semicon-europa

Kontakt:
Sabrina Müller
Vice President Investor Relations & Communications
E-Mail: sabrina.mueller@suss.com
Tel.: +49 160 94989008

Ãœber SUSS

SUSS ist ein weltweit führender Anbieter von Anlagen und Prozesslösungen für
die Halbleiterindustrie. Mit einem klaren Fokus auf Spitzentechnologie und
Präzision machen wir die Herstellung von Mikrochips und Halbleitern der
nächsten Generation möglich und treiben die Digitalisierung kontinuierlich
voran. Unsere Lösungen entstehen in enger Zusammenarbeit mit
Forschungsinstituten und Industriepartnern. Wir leisten einen wesentlichen
Beitrag zur Weiterentwicklung von Hochleistungsrechnern und künstlicher
Intelligenz und prägen die Zukunft intelligenter Geräte und Anwendungen.

Unser Hauptsitz befindet sich in Garching bei München. SUSS beschäftigt
weltweit rund 1.500 Mitarbeiter und hat zuletzt einen Umsatz von rund 500
Millionen Euro erwirtschaftet. Wir betreiben Produktionsstandorte in
Deutschland und Taiwan sowie Forschungszentren in Europa, Asien und den USA.
Hinzu kommt ein starkes Netzwerk aus kundennahen Vertriebs- und
Serviceniederlassungen. Die SUSS MicroTec SE ist an der Deutschen Börse in
Frankfurt im Prime Standard notiert (FWB: SMHN; ISIN DE000A1K0235) und
gehört den Aktienindizes TecDAX und MDAX an. Weitere Informationen finden
Sie unter www.suss.com.

Legal Disclaimer

Einige der in dieser Mitteilung gemachten Aussagen haben den Charakter von
Prognosen bzw. können als solche interpretiert werden. Alle Angaben und
Bewertungen erfolgen auf der Basis äußerst gewissenhafter Recherchen. Die
Veröffentlichung erfolgt jedoch ohne Gewähr. Jegliche Haftung wird
ausgeschlossen. Die obigen Ausführungen stellen keine Aufforderung zum Kauf
oder Verkauf von Wertpapieren dar. Alle Rechte vorbehalten.

---------------------------------------------------------------------------

09.11.2026 CET/CEST Veröffentlichung einer Corporate News/Finanznachricht,
übermittelt durch EQS News - ein Service der EQS Group.
Für den Inhalt der Mitteilung ist der Emittent / Herausgeber verantwortlich.

Die EQS Distributionsservices umfassen gesetzliche Meldepflichten, Corporate
News/Finanznachrichten und Pressemitteilungen.
Originalinhalt anzeigen:
https://eqs-news.com/?origin_id=f93e831f-dbab-11f1-b46d-066675bb9927&lang=de

---------------------------------------------------------------------------

Sprache: Deutsch
Unternehmen: SUSS MicroTec SE
Schleissheimer Strasse 90
85748 Garching
Deutschland
Telefon: +49 (0)89 32007-306
Fax: +49 (0)89 4444 33420
E-Mail: florian.mangold@suss.com
Internet: www.suss.com
ISIN: DE000A1K0235
WKN: A1K023
Indizes: MDAX, TecDax
Börsen: Regulierter Markt in Frankfurt (Prime Standard);
Freiverkehr in Düsseldorf, Hamburg, Hannover, München,
Stuttgart, Tradegate BSX
LEI Code: 529900C3KRUTSYDK7N87
EQS News ID: 2430444

Ende der Mitteilung EQS News-Service
---------------------------------------------------------------------------

2430444 09.11.2026 CET/CEST

°